Staubkontrolllösungen für die Halbleiterfertigung

Übersicht

In der Halbleiterfertigung ist die Staubabscheidung entscheidend für die Aufrechterhaltung der Produktqualität und die Vermeidung von Kontamination. Wichtige Prozesse wie die chemische Dampfabscheidung (CVD), die Ätzung und das Polieren erzeugen feine Partikel, die die Funktionalität von Mikrochips beeinträchtigen können. Strenge Kontrollmaßnahmen sind unverzichtbar, um Mängel zu vermeiden und eine Reinraumumgebung sicherzustellen.