Staubkontrolle für Halbleiter

Staubbehandlung beim Waferschleifen

Der gemäß den Umweltemissionsanforderungen entwickelte großvolumige Staubabscheider wird hauptsächlich in Wafer-Polieranlagen in der Halbleiterindustrie eingesetzt, um große Mengen brennbaren und explosiven Siliziumpulvers zu handhaben, das beim Wafer-Schleifprozess entsteht.

Lösungen

Die VW-150wafer Fab-Ausrüstung kombiniert hauptsächlich die Zyklon-Staubentfernung mit der Sprühstaubentfernung, sodass das Siliziumpulver vollständig vom aus der Hochdruckdüse gesprühten Wassernebel erfasst wird und ein Staub-Wasser-Gemisch entsteht, das im Auffangbehälter abgelagert wird Aufgrund der Schwerkraft wird der Staub durch die Überlauföffnung nach außen abgelassen, um die Staubentfernung abzuschließen.